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電子工業用特種混合氣

時間:2013-05-06
來源:本站編輯

混合氣體

包裝容器(升)

充裝壓力(MPa)

SiH4       0.2-1%               H2        Bal.

4,8,40

10

SiH4   1-10%                    N2        Bal.

4,8,40

10

SiH4   10-30%                   He        Bal.

4,8,40

10

PH3   10-100PPm                H2        Bal.

4,8,40

10

PH3     0.1-1%                  N2        Bal.

4,8,40

10

PH3     1-10%                   Ar        Bal.

4,8,40

10

PH3     10-50%                  He        Bal.

4,8,40

10

AsH3   10-100PPm                H2        Bal.

4,8,40

10

AsH3       0.1-1%               N2        Bal.

4,8,40

10

AsH3   1-10%                    He        Bal.

4,8,40

10

AsH3   10-20%                   Ar        Bal.

4,8,40

10

B2H6  10-100PPm                 H2        Bal.

4,8,40

10

B2H6  0.1-1% , ;, ;                   N2        Bal.

4,8,40

10

B2H6  1-10%                     He        Bal.

4,8,40

10

CF4     5%                      O2        Bal.

4,8,40

10

CF4     10%                     O2        Bal.

4,8,40

10

注:Bal.平衡氣

由于組份及組份比例的不同,混合氣體的品種過于繁多,

恕無法 一一列舉,未盡事宜,敬請致電。

 

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